简介:产品简介薄膜测厚仪、纸张测厚仪、塑料薄膜测厚仪产品详细信息SGC-10薄膜测厚仪、薄膜测厚仪、薄膜测厚仪、纸张测厚仪、塑料薄膜测厚仪SGC-10薄膜测厚仪,适用于介质,半导体,薄膜滤波器和液晶等薄膜和
薄膜测厚仪、纸张测厚仪、塑料薄膜测厚仪
仪器特点
1 非接触式测量,用光纤探头来接收反射光,不会破坏和污染薄膜;
2 测量速度快,测量时间为秒的量级;
3 可用来测薄膜厚度,也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k;
4 可测单层薄膜,还可测多层膜系;
5 可广泛应用于各种介质,半导体,液晶等透明半透明薄膜材料;
6 软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数,可供用户参考;
7 内嵌微型光纤光谱仪,结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。
参数和性能指标
厚度范围: 20nm-50um(只测膜厚),100nm-25um(同时测量膜厚和光学常数n,k)
准确度: <1nm或<0.5%
重复性: 0.1nm
波长范围: 380nm-1000nm
可测层数: 1-4层
样品尺寸: 样品镀膜区直径>1.2mm
测量速度: 5s-60s
光斑直径: 1.2mm-10mm可调
仪器成套性
测厚仪主体(内含光源和光纤光谱仪),光纤跳线,光纤探头,标准硅片,支撑部件,配套软件
可扩展性
通过光纤连接带有C口的显微镜,就可以使本测量仪适用于微区(>10um)薄膜厚度的测量。
强大的软件功能
界面友好,操作简便;
可保存测量得到的反射谱;
可读取保存的反射率数据;
可选择是否测量折射率n,消光系数k;
可选择光谱范围;
可猜测薄膜厚度以节省测量时间;
可从大量的材料库中选择薄膜和基底的材料;
用户可自己扩充材料库。
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