纳米厚度测量仪 ST2000检测

产品简介

厚度测量仪适用于研发和半导体，FPD，纳米技术，电子材料及特殊薄膜生产线中的薄膜测量.例如在半导体行业，需根据图样**地获取晶圆表面的各个薄膜沉积。薄膜测量系统是用来监控工序并通过测量薄膜的厚度决定产品的质量。   测量薄膜厚度有许多种方法。其中*常见的是基于机械技术的触针方法，显微镜技术和光学技术。

产品详细信息

测量范围	20nm～35㎛
测量分辨率	1.5nm
测量速度	1～2 sec/site
平台尺寸	150×120mm (70×50 mm 移动)
测量样品尺寸	≤ 4”
光斑尺寸	一般为20 ㎛
测量原理	反射计
测量方法	非接触
类型	手动
尺寸	190×265×316 mm
适用温湿度	5～35°C, 30～80% RH
重量	12Kg
旋转头	三目旋转头
照明	控制装置和变压器内置12V/35W卤素灯

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