光学薄膜测厚仪 ST2000检测

产品简介            

SpectraThick Series ST2000光学薄膜测厚仪是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。 这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为 In-Line monitoring 仪器使用。

               

产品详细信息

ST2000薄膜测厚仪特点

1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。

2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。

3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )

8)Table Top型, 适用于大学,研究室等

The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens

Stage Size	150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
Measurement Range	200?~ 35μ m(Depends on Film Type)
Spot size	20μm Typically
Measurement Speed	1 sec/site Typically
Application Areas	Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 .. Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS... *Supporting up to 3 Layers *Supporting Backside Reflection
Head	Trinocular Head
Nosepiece	Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt
Total Magnification	40X ~ 500X
Type of Illuminati	12v 20W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transform

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