GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

检测标准有哪些内容？检测标准都涵盖了哪些方面？ GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
【英文标准名称】: Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
【中文标准名称】: 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
【标准号】: GB/T 1554-2009
【标准状态】: 现行
【发布日期】: 1979-05-26
【实施日期】: 2010-06-01
【发布部门】: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;中国国家标准化管理委员会
【起草单位】: 峨嵋半导体材料厂
【起草人】: 何兰英;王炎;张辉坚;刘阳
【标准技术委员会】: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
【中国标准分类号】: H80
【国际标准分类号】: 29_045
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